Le 14/12/2006 par roadef :
Proposition de stage de Master en partenariat avec une entreprise
Titre : Optimisation de la gestion des opérations pour un équipement « cluster »
Mots-clés : optimisation, simulation, génie industriel, fabrication de semi-conducteurs.
Financement : 900 Euros
Encadreurs : C. Yugma et un encadrant industriel
Possibilité de poursuite en thèse : oui
Lieu : Gardanne ou Crolles (38)
Hébergement possible sur le nouveau campus du CMP-Georges Charpak (Gardanne).
Description du sujet
La complexité croissante des processus de fabrication de plaquettes de silicium entraîne une augmentation importante de l'utilisation des équipements multi chambres dans les ateliers de fabrication de semi-conducteurs. Un équipement multi chambre est basiquement constitué de plusieurs chambres capables de réaliser des travaux en parallèle. Les travaux sont réalisés par paquet d'au plus 25 plaquettes appelé lot. Les lots n'ont pas tous la même priorité. Certains sont plus importants que d'autres et doivent passer en priorité pour subir des opérations. Pour une opération donnée, toutes les chambres d'un équipement ne sont pas forcément aptes (qualifiées) pour la réaliser. Pour qualifier une chambre, des réglages sont nécessaires.
Les lots arrivent au fil de l'eau dans la zone de gravure (zone composée d'équipements multi chambres) pour subir une opération. Il s'agit de
1. déterminer les lots à sélectionner en fonction du temps déjà passé à attendre dans la zone, de la priorité du lot, etc.,
2. déterminer sur quel équipement ceux-ci devraient subir l'opération en fonction des chambres qualifiées, du temps de process qui peut dépendre de l'équipement choisi et de la chambre, etc. La complexité du flux intra équipement fait que le choix des chambres peut considérablement influencer la cadence de l'équipement. De plus, les paramètres de rendement viennent complexifier un peu plus la détermination de la séquence optimale pour un lot (produit) donné,
ceci dans un but de minimiser le nombre de chambres inutilisées, maximiser le rendement d'un équipement, respecter les priorités, minimiser le temps moyen passé dans la zone de gravure, etc.
Une démarche de résolution a déjà été proposée pour le même type de problématique pour une zone différente de l'atelier. Cette démarche est basée sur un calcul de priorité pour déterminer le lot à sélectionner et ensuite déterminer l'équipement le plus approprié pour réaliser une opération.
L'objet de ce stage est de proposer des stratégies d'ordonnancement optimisées pour la zone de gravure en s'inspirant de la démarche proposée pour la zone déjà étudiée. Par la suite, des tests seront effectués sur des instances réelles de l'atelier de fabrication pour valider ou invalider les stratégies proposées.
Contact : Adresser CV et lettre de motivation à :
Claude Yugma, E-mail : yugma@emse.fr; Tél. : ++33(0)4 42 12 68 72
